產(chǎn)品資料
高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)
產(chǎn)品名稱: 高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)
產(chǎn)品型號(hào): F71
產(chǎn)品特點(diǎn): 高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì) 的詳細(xì)介紹
高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)
高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)
半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
- 臺(tái)式高斯計(jì)/特斯拉計(jì)：非接觸磁場(chǎng)測(cè)量，0.1 mG – 35 T，臺(tái)式 2.1 kg
- F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命
半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
- 臺(tái)式高斯計(jì)/特斯拉計(jì)：非接觸磁場(chǎng)測(cè)量，0.1 mG – 35 T，臺(tái)式 2.1 kg
- F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（F71）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 測(cè)量范圍 | 0.1 mG – 35 T（全范圍） |
| 精度 | 0.01 %（0.01 % RDG） |
| 分辨率 | 0.1 mG（0.1 mG，16 bit） |
| 采樣率 | 1 MHz（1 MHz，實(shí)時(shí)） |
| 頻率范圍 | DC – 50 kHz（AC 磁場(chǎng)） |
| 溫度系數(shù) | < 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃） |
| 探頭接口 | BNC + USB + RS-485（實(shí)時(shí)） |
| 真空兼容 | ≤ 1×10?? Pa（真空版探頭） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（探頭 + 主機(jī)） |
三、功能亮點(diǎn)
- 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場(chǎng)到 35 T 全范圍，半導(dǎo)體磁場(chǎng)全覆蓋
- 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場(chǎng)重復(fù)性 ≤ 0.01 mG
- 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實(shí)時(shí)采樣，適合快速磁場(chǎng)變化
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
- 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
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